簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Pad".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="碎形維度"


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    開發線上監控量測方法與系統應用於拋光墊性能水準分析之研究
    • 機械工程系 /104/ 碩士
    • 研究生: 蔡明城 指導教授: 陳炤彰
    • CMP(Chemical-Mechanical Planarization)為化學機械平坦化製程被應用於IC製造。在半導體線寬縮減的迫切需求下,穩定性和可用性於CMP製程已成為非常重要的課題。然而目…
    • 點閱:324下載:8

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    雷射共軛焦三維表面形貌量測儀開發應用於拋光墊之碎形維度和承載比分析
    • 機械工程系 /101/ 碩士
    • 研究生: 王柏凱 指導教授: 陳炤彰 鍾俊輝
    • 本研究主要在建構用於化學機械平坦化拋光之拋光墊表面形貌分析,自行研發設計一款雷射共軛焦三維表面形貌掃描儀,並開發對拋光墊形貌分析之專用程式。主要方法為將雷射共軛焦儀架設於龍門線性馬達平台,回授平台X…
    • 點閱:678下載:23
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